RF技術(shù)在光伏行業(yè)的應(yīng)用
- 在高效光伏電池制造，尤其是HJT（異質(zhì)結(jié)Heterojunction）技術(shù)路線中，射頻能量的穩(wěn)定傳輸是實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量薄膜沉積與表面處理的關(guān)鍵。SLK高功率同軸連接產(chǎn)品專為HJT產(chǎn)線中的PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）與等離子清洗設(shè)備提供高性能射頻互連解決方案。在HJT電池結(jié)構(gòu)中，需在晶體硅基底上沉積超薄本征及摻雜非晶硅層，該過程依賴穩(wěn)定、均勻的射頻等離子體激發(fā)。
