RF技術(shù)在液晶平板制造的應(yīng)用
- 射頻電源系統(tǒng)的性能直接影響等離子體的濃度、均勻性和穩(wěn)定性等。此外，生產(chǎn)過(guò)程等離子體腔室阻抗的變化十分復(fù)雜。為了提高集成電路品質(zhì)，要保證等離子體均勻穩(wěn)定，才能夠完全吸收來(lái)自射頻源的功率。這需要適配器提供高精度的自動(dòng)阻抗匹配。
LCD液晶平板具有多層結(jié)構(gòu)，其中薄膜晶體管（Thin film transistor, 簡(jiǎn)稱TNT ）層。它的作用是對(duì)每個(gè)像素都有一個(gè)薄膜晶體管進(jìn)行開(kāi)關(guān)控制，實(shí)現(xiàn)顯示屏的高分辨率、快速響應(yīng)和高對(duì)比度。TFT的薄膜沉積工藝廣泛采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）、濺射與刻蝕等技術(shù)，需依賴穩(wěn)定的射頻能量激發(fā)等離子體。
